제품소개
부품
Ceramic
Electro Static Chuck
반도체/디스플레이용 주요장비 Electro Static Chuck 제작, 세정, 수리 등 Total Service를 제공하고 있습니다.
핵심품목
   Anonizing ESC    MCA ESC
   Sapphire ESC    AI2O3 ESC
   AIN ESC
SiC Ceramic 부품
반도체 및 Display 제조공정에서 필요한 제품을 SiC 소재로 특수제작 가능합니다.
(내열성, 화학적 안정성을 갖춘 Susceptor, Wafer 지지대, Carrier, Focus Ring 등)
FAB Utility
AFCS (Advanced Fluid Control System)
반도체 및 Display 제조공정에 적용되는 Gas배관으로 현존하는 SUS Pipe대비에너지 절감효과와 온도 유지능력이 탁월하고Powder 발생 최소화.
또한 Remote Control System을 통해 공정 Issue 최소화가 가능하며 제조, 판매, 수리, 설치까지의 Total solution을 제공하고 있습니다.
기타
12” Etcher용 Consumable Parts (Maker: Lam Research)
MODEL OEM P/N DESCRIPTIOM
Flex45 857-073299-001 SEAL CHOKE RING CORE
Flex DS
Flex45 713-069935-003 KAPTON SHIM ON TCP
Flex DS
Flex45 713-072792-003 KAPTON SHIM ON ELECTRODE
Flex DS
Flex45 857-072806-005 (A)SHIELD GASKET ROUND TEFLON 450A
Flex DS
Flex45 857-073710-002 A)CIRLEX GASKET SET
Flex DS
Flex45 857-065064-005 ABE INNER
Flex DS
Flex45 857-027108-001 FLEX, CHOKE RING
Flex DS
Flex45 714-072727-048 JACKET RING, HEATSINK, HE
Flex DS COUPLING,RING300 Rev#1
Flex45 714-072728-003 HEAT INSULATOR_RING, HEATSINK, ESC/COUPLIN
Flex DS
Flex45 713-073439-010 HEAT INSULATOR
Flex DS
Flex45 714-072728-117 RING, ESC/CPLNG, 298, SP
Flex DS 714-072728-130
Flex45 857-085550-822 Sheet Flex FS Electrode Backside
Flex DS
Flex FX 857-073299-002 KIT, GASKET, TOP, ELTCD
Flex45 839-070842-004 ALL STUD SOCKET
Flex DS
Flex45 839-086924-052 Process Kit Etcher Parts Flex FX C-Section Ring Socket
Flex DS
Flex45 839-086924-050 Stud Socket Inner Flex FX
Flex DS
Flex 45 839-086924-051 Socket Flex FX Outer Cell
Flex45 839-086924-052 Process Kit Etcher Parts Flex FX C-Section Ring Socket
Flex DS
Flex 713-067673-002 PIN, ALIGN.UPR, ELCTD, 300MM
Flex FX 713-083166-001 SLV, ALGIN, INNER ELCTD
KIYO 713-083166-002 SLV, ALGIN, INNER ELCTD
STEPPED
KIYO EX 713-082885-002 SPACER TEFLON STG GAS INJECTOR
KIYO EX 716-082886-006 PROCESS KIIT UPPERCHAMBER KIYO
Flex FX 857-080373-010 SCREW KIT, SCR, TORX, NRDLK,6-32
Flex FX 719-078253-060 D RING, GASKET, GEL, CER, 509
719-078253-103(wide)